核質譜檢漏儀作為一種測量儀器，需根據設備的使用頻率、被測品工藝要求定期使用標準漏孔對設備自身進行校準，以保證設備自身檢測精度；我司標配的標準漏孔為一種滲氦型真空標準漏孔，標稱漏率在1.6E-08級左右，其年漏率年衰減在5%。它是由離子源、分析器、接收器、真空系統(tǒng)、電子線路及其它電氣部分組成。目前的氦質譜檢漏儀基本上都是磁偏轉型的。
1、電泵故障及解決
（1）電泵不舉動。審查名目有：電源電壓是否畸形，電門是否翻開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱（泵結冰后是否能啟動）。
（2）電泵音調異樣。審查油位是否適合，油質是否變壞，油溫是否＜10℃，油霧過濾器的入口有無氣體排出（那末無氣體排出，更替油霧過濾器）。
2、分子泵故障及解決
（1）開機2min后壓力批示燈不亮。此時候子泵未轉動，即分子泵出口壓力未到設定值或未檢測到壓力（通常壓力應＜10-3MPa，壓力過高分子泵將無奈啟動）。因而，重要審查招致壓力過高的成分。審查的名目有：PI1真空規(guī)管是否有問題，分子泵入口是否翻開，電泵油是否太臟或電泵是否轉動，零碎是否有透露。
（2）分子泵減速批示燈不亮。CD2通路板上的保險絲燒斷，更替保險絲或審查是否有短路景象。
（3）分子泵故障燈亮。審查CD2通路板設置電門是否在于R地位，此時無須在N地位。審查風扇是否停留，那末風扇畸形，請和廠家聯絡。
3、質譜室故障
（1）真絲批示燈不亮。審查真絲開要害是否在于開放地位（再按一下），審查I/O短接插銷是否儀器前面的接口。
（2）真絲批示燈閃耀。用萬用表審查質譜室飛行插座1和5接報柱是否開路，若開路，更替真絲；若不開路，審查接報柱6是否和其余接頭導通，肅清短路景象.
（3）遙控面板無壓力批示。審查PI3規(guī)管是否有問題。
（4）當檢漏結束時壓力不上升。審查通路板PO318保險絲是否有問題.
（5）檢漏口壓力＞0.01MPa。電泵油生效或PI3規(guī)管壞.
